消費電力約77％カット(当社比)、-10～80℃の温度調節範囲
・ 水冷式冷凍機を搭載していますので、強制冷却するためのファンがなく、装置からの排熱がほとんどありませんので、クリーンルーム内での設置や、周囲温度が高いところ、空調の事情などで排熱量が制限された部屋での設置に最適です。
・ 従来の当社製品より約77％の省エネ効果で、消費電力・CO2削減に貢献します。
・ ヒータと冷凍機による精度の高い温度調節で、-10～80℃まで温度調節された液体を循環します。
・ 電子顕微鏡や分光光度計の光源、反応槽、露光装置やラッピング装置(半導体製造装置)などの温度管理に使用できます。
・ コンパクトなので場所に制限がある施設への設置が可能です。
・ B・D型は水道圧相当の0.2MPaの吐出圧が得られる高圧ポンプ仕様です。さらに高い吐出圧をお求めの場合は0.4MPaの吐出圧が得られるポンプ内蔵タイプを製作いたします。お問合せください。
・ C・D型は接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度1μS/cm以上)が可能で、半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必要とされるラインへの循環に適しています。
・ 温度調節器とは別に独立した可変式過昇防止器、緊急停止ボタン、アラーム出力端子を装備しています。
見やすい表示、操作部
緊急停止、アラーム出力
・緊急停止ボタン
配管中の液漏れや循環先の異常時など、ボタンひとつで装置を緊急停止させます。
配管中の液漏れや循環先の異常時など、ボタンひとつで装置を緊急停止させます。
- ・アラーム出力端子
- チラーが異常状態になった際に、循環先の装置にアラームを接点出力します。
装置の小型化を実現
従来製品(NCC-2120A型)に対して装置容積を約61%カットしました。
コンパクトなので場所に制限がある施設、実験室内への設置が可能です。
コンパクトなので場所に制限がある施設、実験室内への設置が可能です。
純水の循環に対応
接液部がステンレスなので、純水循環(電気伝導度0.1mS/m(1μS/cm)以上)が可能で、半導体製造ラインやクリーンルーム内、静電気対策など絶縁熱媒体が必要とされるラインへの循環に適しています。
精密な温度調節が必要とされる各種半導体製造装置で使用される場合、多くは純水を循環し基板やウェハを載せるステージの温度調節をします。
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冷却能力曲線
※冷却能力は表示能力の±10%です。
※表示能力は装置単体での能力です。 -
外部循環能力曲線
| 製品名 |
|---|
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バイパスライン
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圧力計
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流量計
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流量調節バルブ
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| 製品コードNo. | 113280 | 143330 | 174440 | 234170 | 235150 |
|---|---|---|---|---|---|
| 価格（税別） | ¥6,500 | ¥14,000 | ¥31,000 | ¥64,000 | ¥39,000 |
| 製品名 |
保冷ホースセット |
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